①工作原理和使用范圍真空翻板閥工作原理如圖22-6所示。閥板運動由兩個動作組成，即閥板平動和翻轉，平動用于壓緊或脫離密封面，翻轉用于將閥板翻轉一定角度（通長為0°?90°），以獲得一定的通導能力。和真空擋板閥相比，優(yōu)點是閥桿運動距離短，動作速度快，閥體總高度較小，缺點是全開啟后，閥板仍處于氣流通道上，增加了流阻。閥體尺寸較大，要留有足夠閥板翻轉空間，防止碰撞卡住。整體機構較擋板復雜，制造成本較高。

真空翻板閥閥板翻轉的機構類型很多，常見的有：四連桿傳動機構、蚌線機構、鏈板翻板機構以及止動桿翻板機構。驅動方式有手動、液壓傳動、氣動、手電兩用傳動等。

真空翻板閥適合于中、大型口徑的高真空、超高真空抽氣系統(tǒng)中，多為直角式，可充分利用抽氣管道中的彎頭空間。

閥門適用介質為非腐蝕性潔凈氣體，閥板密封采用丁腈橡膠，可用于介質溫度為一25?80°C的高真空系統(tǒng)。采用氟橡膠可用于烘烤溫度150°C以下的超高真空系統(tǒng)。

②形式和性能參數(shù)CF-J型手動翻板閥是靠人工旋轉閥門手柄使閥板上下運動，實現(xiàn)閥板啟閉動作。

CFChJ型氣動翻板閥是利用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，使汽缸中活塞做往復運動， 帶動閥板啟閉，實現(xiàn)真空系統(tǒng)中的氣流截止或導通。

（5）真空蝶閥

①工作原理和使用范圍真空蝶閥的工作原理是靠固定在轉動軸上的蝶板旋轉90°實現(xiàn)閥門的開啟和關閉。和其他相同口徑的真空閥門相比，真空蝶閥具有結

構簡單，通導能力大，閥體結構長度短，啟閉速度快等優(yōu)點。國內(nèi)生產(chǎn)的真空蝶閥有手動、氣動、電磁動三種形式，手動真空蝶閥適用小口徑（公稱尺寸DN32? 300）真空抽氣系統(tǒng)、抽氣管道接通或截止氣流之用， 氣動和電動真空蝶閥，zui大公稱尺寸可達DN5000。

真空蝶閥在開位、關位都有自鎖功能，閥板可承受0. 3MPa的氣體壓力，不怕振動，可在任意位置安裝，閥桿不竄動。

真空蝶閥使用的介質為潔凈空氣及不含顆粒粉塵的非腐蝕性氣體，密封材料選用丁腈橡膠，可用于介質溫度在一25?80°C的高真空系統(tǒng)中，選用氟橡膠密封圈，可用于烘烤溫度150°C的超高真空系統(tǒng)中。

②形式和性能參數(shù)手動高真空蝶閥有GI型、 GI-A型。GI型真空蝶閥的外形如圖22-7所示。漏氣速率小于 IXIQ-6Pa. L/s0

GIQ氣動真空蝶閥，采用1/4旋轉汽缸，轉角可調，設有開位和關位電信號裝置，可作為自動控制信號源實現(xiàn)蝶閥啟閉的自動控制。外形見圖22-8。

GIQ系列氣動真空蝶閥的漏率小于1X10-5 Pa • L/s0密封材料為丁腈真空橡膠，氣源壓力為0.4? 0. 6MPa,適用于介質溫度一25?80°C，壓力7X 10-4?105Pa的高真空抽氣系統(tǒng)及抽氣管道中。

手、電兩用型GID電動真空蝶閥，采用1/4旋 轉的電動裝置，工作平穩(wěn)，噪聲小（與氣動閥相比）， 可在任意方向安裝，閥門開位和關位均有電信號裝 置、用于顯示閥板開閉狀態(tài)和自動控制的信號源。 GID系列電動真空蝶閥外形見圖2H

GID系列電動真空閥門的閥板密封材料為丁腈真空橡膠，使用介質和環(huán)境溫度為一25?80°C，漏氣速率小于lX10-6Pa • L/s,適用于10_4Pa高真空設備及抽氣管道中。